Линейный позиционер Physik Instrumente (PI-USA) N-565, разработанный для высокопроизводительных приложений в области био-нанотехнологий, волоконной оптики, микроскопии, полупроводниковых испытаний и метрологии, предлагает системное разрешение 0, 5 нм. Алюминиевый позиционер имеет минимальное инкрементное движение 2 нм и однонаправленную повторяемость ± 5 нм. Двунаправленная повторяемость составляет ± 12 нм, а скорость - 10 мм / с. Например, версия N-565.260 имеет 26-миллиметровый диапазон хода, линейный датчик PIOne, приводное усилие 10-N и размеры 65 × 110 × 20 мм.
Технология PiezoWalkR сочетает в себе технологические преимущества пьезоприводов с пьезомоторами. Шаговые приводы PiezoWalkR обеспечивают разрешение субнанометра, высокие усилия приводов и высокую жесткость. Они не подвержены воздействию трения скольжения, в отличие от других пьезомоторных приводов. Они основаны на контактных контактах нескольких пьезоприводов, которые движутся вдоль бегуна. Для подачи вперед привод автоматически поднимается из направляющей, что практически не вызывает износа и истирания. Предварительная загрузка исполнительных механизмов против бегуна обеспечивает самоблокировку.
Оптический кодер PIOne допускает разрешение положения намного меньше одного нанометра и основан на принципе интерферометрического измерения. Он измеряет фактическое положение - механическая игра или упругая деформация не влияют, а погрешность линейности меньше 1%.
С помощью скрещенных роликовых подшипников точечный контакт шариков в шарикоподшипниках заменяется линейным контактом отвержденных роликов. Следовательно, они значительно более жесткие и требуют меньше предварительной нагрузки, что уменьшает трение и обеспечивает более плавный ход. Доступен модуль контроллера / драйвера.